特許
J-GLOBAL ID：200903024818822830
シロキサン除去装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
京本 直樹 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-305335
公開番号（公開出願番号）：特開平9-141035
出願日： 1995年11月24日
公開日（公表日）： 1997年06月03日
要約：
【要約】【課題】空気清浄システムにおいては、ガス状のシロキサンを除去できない。【解決手段】クリーンルーム10では気密保持を目的としたシリコンゲル11、シリコンシール9よりガス状シロキサンが飛散している。一方クリーンルーム10内の送風機4Aと高性能フィルター3の間に放電電極2を有する電極本体1を設けることで、このガス状シロキサンを微粒子状に変化させた後に、後段の高性能フィルター3で捕集をはかる。
請求項（抜粋）：
ガス状で存在しているシロキサンを微粒子状に変化させ、このシロキサンの微粒子をフィルタにより捕集するシロキサン除去装置。
IPC (3件)：
B01D 51/00
, B01D 46/52
, B01D 53/32
B01D 51/00 C
, B01D 46/52 Z
, B01D 53/32
