特許
J-GLOBAL ID：200903024823930714
金属酸化物膜付きガラス板およびその製造方法、ならびにこれを用いた複層ガラス
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
池内 寛幸 (外3名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-297610
公開番号（公開出願番号）：特開2001-114534
出願日： 1999年10月20日
公開日（公表日）： 2001年04月24日
要約：
【要約】【課題】 熱線遮蔽性、低放射性、導電性などについて好ましい特性を得るために必要な膜厚を有する酸化錫を主成分とする層が形成されていながらも、膜表面の凹凸が抑制された金属酸化物膜付きガラス板を提供する。【解決手段】 ガラス板5上に、第1の酸化錫を主成分とする層1、酸化珪素を主成分とする層2、第2の酸化錫を主成分とする層3、最外層(酸化錫を主成分とする層)4をこの順に積層する。酸化錫を主成分とする層の膜厚の合計は、150nm以上とする。最外層では、フッ素濃度を0.5〜2重量%とするか、アンチモン濃度を錫とのモル比が0.05〜0.2となるように調整する。また、金属酸化物膜の表面の算術平均粗さRaを10nm以下とする。
請求項（抜粋）：
ガラス板の表面に、少なくとも1層の酸化錫を主成分とする層を含む金属酸化物膜が形成され、前記酸化錫を主成分とする層の厚さの合計が150nm以上であり、前記ガラス板から最も遠い前記酸化錫を主成分とする層が、フッ素およびアンチモンから選ばれる少なくとも一方を含有し、前記金属酸化物膜の表面の算術平均粗さRaが10nm以下であることを特徴とする金属酸化物膜付きガラス板。
IPC (2件)：
FI (2件)：
C03C 17/34 Z
, H01L 31/04 M
4G059AA01
, 4G059AA06
, 4G059AC12
, 4G059EA02
, 4G059EA18
, 4G059GA01
, 4G059GA04
, 4G059GA14
, 5F051BA11
, 5F051CB27
, 5F051FA03
, 5F051FA24
, 5F051GA03
