特許

J-GLOBAL ID：200903024824265293

空気圧作動式メタルダイヤフラム弁

発明者： 内澤 修 ,  清野 文之
出願人/特許権者： 株式会社本山製作所
代理人 (1件)： 鈴江 武彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-245035
公開番号（公開出願番号）：特開平6-094142
出願日： 1992年09月14日
公開日（公表日）： 1994年04月05日
要約：

【要約】【目的】弁作動に基づく微小粒子の発生が防止され、かつ耐久性に優れた空気圧作動式メタルダイヤフラム弁をを提供する。【構成】弁座13と接離自在に対向するメタルダイヤフラム9を駆動する空気圧式駆動部2を備えたメタルダイヤフラム弁において、上記弁座13と駆動部出力軸21との間に介設された緩衝体29,30を具備することを特徴とする。【作用】駆動部出力軸からの衝撃は緩衝体によって緩和され、シール面の劣化が防止される。

請求項（抜粋）：

弁座と接離自在に対向するメタルダイヤフラムを駆動する空気圧式駆動部を備えたメタルダイヤフラム弁において、上記弁座と駆動部出力軸との間に介設された緩衝体を具備することを特徴とする空気圧作動式メタルダイヤフラム弁。