特許
J-GLOBAL ID:200903024825373057
光ディスク欠陥検査装置
発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件):
林 實
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平11-252598
公開番号(公開出願番号):特開2001-074669
出願日: 1999年09月07日
公開日(公表日): 2001年03月23日
要約:
【要約】【課題】2つの情報面を有する光ディスクのピンホール検査を、CDのピンホール検査と同様の検査時間で行える光ディスク欠陥検査装置を提供する。【解決手段】光ディスクの第1及び第2の反射膜の欠陥を検出する光ディスク欠陥検査装置において、光ディスクを回転させる回転駆動手段と、光量の一部が第1の反射膜を反射し光量の一部が第1の反射膜を透過し光量の大半が第2の反射膜に反射される波長の光ビームを光ディスクに照射するビーム照射手段と、光ディスクから反射された光ビームの光量を検出する光量検出手段と、光量検出手段の出力信号から第1の反射膜及び第2の反射膜の欠陥の有無を判定する欠陥判定手段とを備える構成とした。
請求項(抜粋):
第1の反射膜で覆われた第1の情報面と第2の反射膜で覆われた第2の情報面とを備えた光ディスクの前記第1の反射膜及び前記第2の反射膜の欠陥を検出する光ディスク欠陥検査装置において、光ディスクを回転させる回転駆動手段と、光量の一部が第1の反射膜を反射し光量の一部が第1の反射膜を透過し光量の大半が第2の反射膜に反射される波長の光ビームを前記光ディスクに照射するビーム照射手段と、光ディスクから反射された前記光ビームの光量を検出する光量検出手段と、前記光量検出手段の出力信号から第1の反射膜及び第2の反射膜の欠陥の有無を判定する欠陥判定手段とを備えることを特徴とする光ディスク欠陥検査装置。
IPC (3件):
G01N 21/95
, G01B 11/30
, G11B 7/26 531
FI (3件):
G01N 21/95 A
, G01B 11/30 H
, G11B 7/26 531
Fターム (41件):
2F065AA49
, 2F065BB03
, 2F065BB16
, 2F065CC03
, 2F065DD06
, 2F065FF44
, 2F065FF49
, 2F065GG04
, 2F065GG12
, 2F065GG22
, 2F065HH03
, 2F065HH08
, 2F065HH13
, 2F065JJ01
, 2F065JJ09
, 2F065LL04
, 2F065LL14
, 2F065LL36
, 2F065LL37
, 2F065LL62
, 2F065MM04
, 2F065MM07
, 2F065MM14
, 2F065MM16
, 2F065PP02
, 2F065PP13
, 2F065QQ25
, 2F065RR01
, 2F065RR08
, 2G051AA71
, 2G051AB04
, 2G051BA10
, 2G051BB09
, 2G051BB20
, 2G051CB01
, 2G051CB02
, 2G051DA08
, 2G051EA11
, 2G051EB01
, 5D121AA05
, 5D121HH01
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