特許
J-GLOBAL ID：200903024827181929
基準位置指示装置及びメタルマスク位置アラインメント装置
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
乗松 恭三
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2005-070220
公開番号（公開出願番号）：特開2006-249544
出願日： 2005年03月14日
公開日（公表日）： 2006年09月21日
要約：
【課題】 複数のマスク部2を有するメタルマスク1にテンションを加えた状態で枠状のフレームに固定するに際し、各マスク部の位置を正確に位置決めする技術を提供する。【解決手段】 メタルマスク1の各辺を、複数のテンションユニット13で把持して引っ張り、メタルマスク1にテンションを加えると共に、そのメタルマスク1にガラススケール25を重ね合わせ、メタルマスク1に形成した十字マーク6a〜6dが、ガラススケール25に形成した基準マークに一致するように、テンション調整することで各マスク部2の位置を正確に位置決めする構成とし、更にガラススケール25の4隅を連結部材41を介して支持フレーム40で支持してガラススケール25の4隅の自重による撓みを無くし、ガラススケール25とメタルマスク1の間のギャップ寸法を均一とする。【選択図】 図1
請求項（抜粋）：
平面状の被測定材の複数箇所に対する基準位置を示す複数の基準マークを備えた平板状のガラススケールと、該ガラススケールが水平となるように該ガラススケールの中央領域を保持し、該ガラススケールを、所定位置に水平に配置された前記被測定材に近接した測定位置に位置させるガラススケール保持移動装置と、前記ガラススケールの上方の定位置に配置された支持フレームと、該支持フレームと前記ガラススケールの周縁領域を連結する可撓性を有する連結部材とを備え、前記連結部材は、前記ガラススケール保持移動装置が前記ガラススケールを被測定材に近接した測定位置に位置させた時に前記ガラススケールの周縁領域と前記被測定材との間が所定のギャップ寸法となるように、前記ガラススケールの周縁領域を支持する構成であることを特徴とする基準位置指示装置。
IPC (2件)：
FI (2件)：
C23C14/04 A
, C23C14/24 G
4K029AA09
, 4K029BA62
, 4K029BB02
, 4K029BC07
, 4K029CA01
, 4K029DB06
, 4K029HA01
, 4K029HA04
