感光性ポリイミド組成物、およびそれを用いたパターン形成方法

発明者： , , ,
出願人/特許権者： ,
代理人 (1件)：富田和子
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-320810
公開番号（公開出願番号）：特開2000-147761
出願日： 1998年11月11日
公開日（公表日）： 2000年05月26日
要約：

【要約】【課題】低硬化収縮で、水溶液により短時間で現像でき、感度が高い。【解決手段】一般式(1)で表される繰返し単位を有する感光性ポリイミド。ただし、R1は4個以上の炭素を含む4価の有機基、R2は芳香族環を含む3価または4価の有機基、R10は感光基、nは1または2である。【化1】

請求項（抜粋）：

下記一般式(化1)で表される第1の繰返し単位を有する第1のポリイミドと、炭素-炭素二重結合を有するイソシアネート化合物とを反応させて得られる感光性ポリイミド。【化1】(ただし、式中、R1は4個以上の炭素を含む4価の有機基、R2は芳香族環を含む3価または4価の有機基、A1はカルボキシル基またはフェノール性水酸基、nは1または2である。)

IPC (9件)：

G03F 7/027 514 , C08F290/06 , C08F299/02 , C08G 73/10 , G03F 7/004 503 , G03F 7/028 , G03F 7/075 511 , G03F 7/32 , H01L 21/027

FI (9件)：

G03F 7/027 514 , C08F290/06 , C08F299/02 , C08G 73/10 , G03F 7/004 503 , G03F 7/028 , G03F 7/075 511 , G03F 7/32 , H01L 21/30 502 R

Fターム (87件)：

2H025AA00 , 2H025AA01 , 2H025AA04 , 2H025AA10 , 2H025AA20 , 2H025AB20 , 2H025AC01 , 2H025AD01 , 2H025BC13 , 2H025BC69 , 2H025BC78 , 2H025BC83 , 2H025BC92 , 2H025CA00 , 2H025CC20 , 2H025FA17 , 2H096AA27 , 2H096BA06 , 2H096EA02 , 2H096GA08 , 4J027AD04 , 4J027BA19 , 4J027BA20 , 4J027BA23 , 4J027BA25 , 4J027BA26 , 4J027BA28 , 4J027CB10 , 4J027CC05 , 4J027CD06 , 4J027CD10 , 4J043PA02 , 4J043PA04 , 4J043PA05 , 4J043PA08 , 4J043PC016 , 4J043PC066 , 4J043PC086 , 4J043PC166 , 4J043PC206 , 4J043QB15 , 4J043QB26 , 4J043QB31 , 4J043RA35 , 4J043SA06 , 4J043SA62 , 4J043SA71 , 4J043SB01 , 4J043SB03 , 4J043TA14 , 4J043TA22 , 4J043TB01 , 4J043TB03 , 4J043UA022 , 4J043UA121 , 4J043UA122 , 4J043UA132 , 4J043UA142 , 4J043UA152 , 4J043UA261 , 4J043UA262 , 4J043UB011 , 4J043UB012 , 4J043UB021 , 4J043UB022 , 4J043UB061 , 4J043UB062 , 4J043UB122 , 4J043UB132 , 4J043UB151 , 4J043UB152 , 4J043UB281 , 4J043UB301 , 4J043UB302 , 4J043UB321 , 4J043UB322 , 4J043UB401 , 4J043UB402 , 4J043VA021 , 4J043VA031 , 4J043VA041 , 4J043VA061 , 4J043VA071 , 4J043VA081 , 4J043YB19 , 4J043ZB22 , 4J043ZB50

前のページに戻る