特許

J-GLOBAL ID：200903024832657214

赤外線検出素子の製造方法

発明者： 佐野 雅彦
出願人/特許権者： 日本電気株式会社
代理人 (1件)： 京本 直樹 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-123419
公開番号（公開出願番号）：特開平7-335919
出願日： 1994年06月06日
公開日（公表日）： 1995年12月22日
要約：

【要約】【目的】 ループホール型赤外線検出素子の製造において、赤外線検出部と信号読み出し集積回路の電気的接続の不良をなくし、画素欠陥のない鮮明な赤外画像を得ることを目的とする。【構成】 p型HgCdTeを用いた赤外線受光部1に、アレイ状に形成した多数のスルーホール4底部の接着剤層2を除去する際、信号読み出し集積回路の電極パッド6上にメッキ膜7aを形成して、残留接着剤層2の有無を判別する。さらに、赤外線検出部1と電極パッド6間のコンタクト電極7bをメッキ法によって形成する。ここで、残留接着剤層の有無の確認時には赤外線受光部1と対極12と、コンタクト電極7b形成時にはPtスパッタ膜14と対極12とを短絡することでより均一なコンタクト電極7の形成が可能となる。

請求項（抜粋）：

半導体結晶に多数のスルーホールをアレイ状に開孔し、かつ前記スルーホール側壁にpn接合を形成した赤外線検出部と、信号読み出し集積回路を備えた基板との電気的接続を、前記スルーホール側壁面から底部にわたって形成した金属皮膜を介して得る赤外線検出素子において、前記信号読み出し集積回路を駆動して電流を供給するメッキ法によって、前記スルーホール内に、前記金属皮膜を形成することを特徴とする赤外線検出素子の製造方法。

IPC (7件)：

H01L 31/0264 ,  G01J 1/02 ,  H01L 21/28 ,  H01L 21/3065 ,  H01L 27/04 ,  H01L 21/822 ,  H01L 31/10

FI (4件)：

H01L 31/08 N ,  H01L 21/302 J ,  H01L 27/04 F ,  H01L 31/10 H