ウエハ加工用粘着剤とその粘着シ-ト類

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：祢▲ぎ▼元邦夫
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-128229
公開番号（公開出願番号）：特開平9-310050
出願日： 1996年05月23日
公開日（公表日）： 1997年12月02日
要約：

【要約】【課題】ウエハ加工時には貼り替え可能な適度な粘着力を有してウエハを強固に保持でき、加工後にはウエハ表面の材質や形状に影響されずに、また経時での粘着力の増大をみることなく、容易に剥離できるウエハ加工用粘着剤と、その粘着シ-ト類を提供する。【解決手段】アルキル基の炭素数が2〜14のアクリル系単量体50〜89重量%、N-置換(メタ)アクリルアミド30〜10重量%、カルボキシル基含有単量体またはその無水物10〜1重量%を必須とした単量体混合物の共重合体を主成分とするとともに、ゲル分率を80%以上に設定して、ウエハ加工用粘着剤を構成する。また、このウエハ加工用粘着剤からなる層を基材の片面に設けて、粘着シ-ト類を構成する。

請求項（抜粋）：

下記のa〜c成分またはこれとd成分;a)一般式(1):CH2 =C(R1 )COOR2 (式中、R1 は水素またはメチル基、R2 は炭素数2〜14のアルキル基である)で表されるアクリル系単量体50〜89重量%(式中、R3 は水素またはメチル基、R4 ,R5 は水素またはアルキル基であるか、または両者が結合しこれとN原子とで複素環を構成する有機基である)で表されるN-置換(メタ)アクリルアミド30〜10重量%c)カルボキシル基含有単量体またはその無水物10〜1重量%d)上記のa〜c成分と共重合可能な単量体20〜0重量%からなる単量体混合物の共重合体を主成分とし、ゲル分率が80%以上であることを特徴とするウエハ加工用粘着剤。

IPC (7件)：

C09J 7/02 JJW , C09J 7/02 JLE , C08F220/18 MMD , C09J133/06 JDE , C08F220/18 , C08F220:56 , C08F220:04

FI (4件)：

C09J 7/02 JJW , C09J 7/02 JLE , C08F220/18 MMD , C09J133/06 JDE

引用特許：

審査官引用 (6件)

アクリル系粘着テープ
公報種別：公開公報出願番号：特願平6-244334 出願人：積水化学工業株式会社
マスキング用感圧性接着剤とその接着フイルム
公報種別：公開公報出願番号：特願平3-274772 出願人：日東電工株式会社
特開平4-202586

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