特許
J-GLOBAL ID：200903024849259760
蛍石の透過率検査方法
発明者：
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出願人/特許権者：
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代理人 (1件)：
渡辺 隆男
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-060531
公開番号（公開出願番号）：特開2000-349366
出願日： 1994年04月07日
公開日（公表日）： 2000年12月15日
要約：
【要約】【目的】 ステッパーの要求する高透過率を満足し、長時間の露光に対しても透過率低下の少ない、すなわち耐紫外線性のある蛍石を得る。【構成】 レーザー光のエネルギー密度を実際のステッパー稼働時の条件より高く設定することにより、短時間の照射試験、すなわち少ないショット数で検査を行うことが可能となる。
請求項（抜粋）：
KrFエキシマレーザーを光源とする光学系に用いられる蛍石の透過率検査方法において、エネルギー密度100〜500mJ/cm2、50〜500Hzのレーザー光を104〜107ショット照射することを特徴とする蛍石の透過率検査方法。
IPC (2件)：
FI (2件)：
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