特許

J-GLOBAL ID：200903024861314385

光学スイッチおよびその製造方法

発明者： グレゴリィ エイ.マゲル ,  ティー.ガス マクドナルド
出願人/特許権者： テキサス インスツルメンツ インコーポレイテツド
代理人 (1件)： 浅村 皓 (外3名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-171175
公開番号（公開出願番号）：特開平6-175049
出願日： 1992年06月29日
公開日（公表日）： 1994年06月24日
要約：

【要約】【目的】 アラインメントが容易で、安定に動作する光学スイッチおよびその製造方法を提供する。【構成】 光を空間光変調器に反射する、基板の中に形成された鏡に光を向ける導波管を通したり通さなかったりして、マイクロレンズの配列に接続された光ファイバから成る。空間光変調器は、ついで、光を反射し、他方の鏡に戻し、その鏡は他方のマイクロレンズの配列を通してその光を反射し、他方の光ファイバに出す。その構造は基板から鏡を形成し、場合によって導波管を形成し、ファイバおよびマイクロレンズのための溝を形成し、ファイバ、レンズおよび空間光変調器パッケージのような外部部品を取り付け、全体をパッケージすることによって製造される。

請求項（抜粋）：

a. 基板の中に少くとも一つの鏡を形成する工程、b. 上記鏡へおよび/またはそれから光を伝送するために上記基板を少くとも一つの光ファイバと結合させる工程、c. 上記ファイバと上記鏡の間に設けられ、上記光を集束するための少くとも一つのマイクロレンズの配列を備える工程、d. 上記鏡から反射された上記光を反射するために、上記基板に隣接して空間光変調器を配置する工程、e. このようにして形成されるスイッチをパッケージする工程を含む、光スイッチを製造する方法。