研磨方法および研磨装置

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：荒船良男 (外1名)
公報種別：再公表公報
出願番号（国際出願番号）：JP1999004062
公開番号（公開出願番号）：WO2000-007771
出願日： 1999年07月29日
公開日（公表日）： 2000年02月17日
要約：

【要約】本件発明は、ワークと研磨布との押接力が面内で実質的に一様となり、良好な品質のワークが得られるようにした研磨方法および研磨装置に係るものである。溝(9a)が直線方向に設けられた定盤受け部(3a)の溝形成面に定盤(2)を支持させ、前記定盤(2)に貼り付けられた研磨布(8)に研磨剤を流しながらワーク(W)を押し付け、前記ワーク(W)および前記定盤(2)を回転させることによって研磨加工を行うものである。

請求項（抜粋）：

複数の溝が直線方向に設けられた定盤受け部の溝形成面に定盤を支持させ、前記定盤に貼り付けられた研磨布に研磨剤を流しながらワークを押し付け、前記ワークおよび前記定盤を回転させることによって研磨加工を行うようにしたことを特徴とする研磨方法。

IPC (1件)：

B24B 37/04

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