特許
J-GLOBAL ID：200903024866181758
ネガ型感光性樹脂組成物及びレジスト像の製造法
発明者：
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出願人/特許権者：
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代理人 (1件)：
若林 邦彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-164742
公開番号（公開出願番号）：特開平10-010730
出願日： 1996年06月25日
公開日（公表日）： 1998年01月16日
要約：
【要約】【課題】 保存安定性に優れたネガ型感光性樹脂組成物及びこのネガ型感光性樹脂組成物を用いたレジスト像の製造法を提供する。【解決手段】 アルカリ水溶液可溶性樹脂、酸発生剤及びアミノ樹脂を含むネガ型感光性樹脂組成物において、アミノ樹脂の含有量がアルカリ水溶液可溶性樹脂100重量部に対して1〜3重量部であるネガ型感光性樹脂組成物並びにこのネガ型感光性樹脂組成物を基板上に塗布し、乾燥後、露光又は活性放射線照射を行い、加熱し、次いでアルカリ水溶液で現像することを特徴とするレジスト像の製造法。
請求項（抜粋）：
アルカリ水溶液可溶性樹脂、酸発生剤及びアミノ樹脂を含むネガ型感光性樹脂組成物において、アミノ樹脂の含有量がアルカリ水溶液可溶性樹脂100重量部に対して1〜3重量部であるネガ型感光性樹脂組成物。
IPC (4件)：
G03F 7/038 505
, G03F 7/004 503
, G03F 7/30
, H01L 21/027
G03F 7/038 505
, G03F 7/004 503
, G03F 7/30
, H01L 21/30 502 R
