特許
J-GLOBAL ID：200903024869084540
縦型拡散・CVD装置のボート昇降速度制御方法
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
三好 祥二
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-148146
公開番号（公開出願番号）：特開平5-326668
出願日： 1992年05月14日
公開日（公表日）： 1993年12月10日
要約：
【要約】【目的】縦型拡散・CVD装置に於いて、ボート装入、取出しの無駄な時間を可及的に短縮させ縦型拡散・CVD装置のスループットを向上させる。【構成】反応炉1へのボート5の装入取出しの全行程を、ウェーハ11に熱影響を与えない区間と、熱影響を与える行程を含む区間とに区分し、前記熱影響を与えない区間は高速で昇降させる様に作動に於ける無駄な時間を極力減少させる。
請求項（抜粋）：
反応炉へのボートの装入取出しの全行程を、ウェーハに熱影響を与えない区間と、熱影響を与える行程を含む区間とに区分し、前記熱影響を与えない区間は高速で昇降させる様にしたことを特徴とする縦型拡散・CVD装置のボート昇降速度制御方法。
IPC (3件)：
H01L 21/68
, C30B 25/12
, H01L 21/22
