特許
J-GLOBAL ID：200903024870269236
弾性表面波装置及びその製造方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
伊東 忠彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-150228
公開番号（公開出願番号）：特開平7-202631
出願日： 1994年06月30日
公開日（公表日）： 1995年08月04日
要約：
【要約】【目的】 弾性表面波装置に関し、櫛形電極の周期λを例えば電子ビーム露光に依って解像可能な範囲の値のままで、まるめ誤差のないQ値が優れた表面弾性波装置を実現し、且つ、直列共振器呼び並列共振器の共振周波数間隔を細かく調整できるようにする。【構成】 所定の共振周波数をもった第1の一端子対弾性表面波共振器が並列共振器7及び8として、例えば入力端子3と接地との間、出力端子4と接地との間、又は入力端子3及び出力端子4間を結ぶ配線と接地との間などの並列腕に接続されると共に、前記並列共振器における反共振周波数に略一致する共振周波数をもつ第2の一端子対弾性表面波共振器が直列共振器5及び6として、例えば入力端子3と出力端子4との間などの直列腕に接続された弾性表面波装置において、弾性表面波装置の圧電結晶材料1の表面部分はイオンが注入されたイオン注入層11を有し、前記並列共振器と前記直列共振器の少なくとも一方を、前記イオン注入層の上に形成してある。
請求項（抜粋）：
所定の共振周波数をもった第1の一端子対弾性表面波共振器が並列共振器として並列腕に接続されると共に、前記並列共振器における反共振周波数に略一致する共振周波数をもつ第2の一端子対弾性表面波共振器が直列共振器として直列腕に接続された弾性表面波装置において、弾性表面波装置の圧電結晶材料の表面部分はイオンが注入されたイオン注入層を有し、前記並列共振器と前記直列共振器の少なくとも一方は、前記イオン注入層の上に形成されていることを特徴とする弾性表面波装置。
IPC (4件)：
H03H 9/64
, H03H 3/08
, H03H 9/145
, H03H 9/25
