特許
J-GLOBAL ID：200903024875794444
圧電素子
発明者：
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出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-354405
公開番号（公開出願番号）：特開平6-181344
出願日： 1992年12月15日
公開日（公表日）： 1994年06月28日
要約：
【要約】【目的】 駆動時の変位量の大きい圧電素子を提供する。【構成】 板状の圧電体11と該圧電体11の両表面に付着せしめた一対の表面電極12とよりなる駆動部材1と、該駆動部材1を挟持するように配置した一対の金属電極2とよりなる圧電素子において、圧電体11または表面電極12のうちの少なくともいずれかの表面粗さがRmax1μm以下であり、かつ圧電体11または駆動部材1のうちの少なくともいずれかの厚さの最大と最小との差が2μm以下であるもの。
請求項（抜粋）：
板状の圧電体と該圧電体の両表面に付着せしめた一対の表面電極とよりなる駆動部材と、該駆動部材を挟持するように配置された一対の板状の金属電極とよりなる圧電素子において、圧電体または表面電極のうちの少なくともいずれかの表面粗さがRmax1μm以下であり、かつ圧電体または駆動部材のうちの少なくともいずれかの厚さの最大と最小との差が2μm以下であることを特徴とする圧電素子。
FI (2件)：
H01L 41/08 J
, H01L 41/08 L
