検査パラメータ設定方法、検査パラメータ設定装置及び検査パラメータ設定プログラム

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：梶良之 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-232127
公開番号（公開出願番号）：特開2003-044832
出願日： 2001年07月31日
公開日（公表日）： 2003年02月14日
要約：

【要約】【課題】良品のバラツキを考慮した許容値を予め設定しておく必要なく見逃しや過検出の発生をできる限り抑制することが可能な明暗しきい値及び面積しきい値を設定する。【解決手段】オペレータがサンプル画像内の局所的な欠陥領域を指定した後、面積しきい値を最小値として欠陥候補検出を行って(S2)、見逃し欠陥、ノイズ欠陥、指定欠陥候補に分類する(S3)。この分類結果から面積しきい値を変更し(S4)、さらに欠陥候補検出(S5)及び分類(S6)を行う。その結果、見逃し欠陥がある場合などには(S7、S8)、評価値を算出する(S10)。そして、比較を行って(S11)、評価値を最小とするものを最適明暗しきい値及び最適面積しきい値として順次更新していく(S12、S13)。

請求項（抜粋）：

検査対象物を撮像することによって得られた濃淡画像から検査対象物内の欠陥を検出するための検査パラメータである明暗しきい値及び面積しきい値を設定するための検査パラメータ設定方法において、1又は複数のサンプル画像内の1又は複数の局所的な欠陥領域をオペレータが指定する欠陥領域指定ステップと、明暗しきい値及び面積しきい値を用いた1又は複数の前記サンプル画像の欠陥候補検出を、前記欠陥領域指定ステップで指定された前記欠陥領域についての情報を参照しつつ明暗しきい値又は面積しきい値を変更して複数回行い、オペレータによって指定された前記欠陥領域の見逃し状況、前記欠陥候補検出によって検出された領域であるがオペレータによって指定された前記欠陥領域でないノイズ欠陥領域の分布状況、及び、前記欠陥候補検出によって検出された領域であると共にオペレータによって指定された前記欠陥領域である指定欠陥候補の分布状況に基づいて、最適な明暗しきい値及び面積しきい値の組み合わせを定めるパラメータ設定ステップとを備えていることを特徴とする検査パラメータ設定方法。

IPC (6件)：

G06T 1/00 300 , G01B 11/30 , G01N 21/88 , G06T 7/00 , G06T 7/60 150 , H04N 7/18

FI (6件)：

G06T 1/00 300 , G01B 11/30 A , G01N 21/88 J , G06T 7/00 T , G06T 7/60 150 J , H04N 7/18 B

Fターム (55件)：

2F065AA49 , 2F065AA58 , 2F065FF04 , 2F065FF61 , 2F065JJ03 , 2F065JJ26 , 2F065QQ04 , 2F065QQ06 , 2F065QQ08 , 2F065QQ21 , 2F065QQ24 , 2F065QQ25 , 2F065QQ29 , 2F065QQ31 , 2F065QQ42 , 2F065RR07 , 2F065RR08 , 2F065UU05 , 2G051AC02 , 2G051EA11 , 2G051EA23 , 2G051EB01 , 2G051EB02 , 2G051EC01 , 2G051EC02 , 2G051EC03 , 5B057AA04 , 5B057BA24 , 5B057BA26 , 5B057BA30 , 5B057DA03 , 5B057DB02 , 5B057DB09 , 5B057DC04 , 5B057DC19 , 5B057DC22 , 5B057DC39 , 5C054AA05 , 5C054CA04 , 5C054CC03 , 5C054EA01 , 5C054ED17 , 5C054FC05 , 5C054FC12 , 5C054FC16 , 5C054HA05 , 5L096BA03 , 5L096CA22 , 5L096CA24 , 5L096EA43 , 5L096FA35 , 5L096FA59 , 5L096GA41 , 5L096GA51 , 5L096KA13

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