特許

J-GLOBAL ID：200903024881477973

新規な組成物

発明者： 梅北 謙一 ,  林田 一良
出願人/特許権者： 和光純薬工業株式会社
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-296190
公開番号（公開出願番号）：特開2000-109987
出願日： 1998年10月02日
公開日（公表日）： 2000年04月18日
要約：

【要約】【課題】レジスト材料により表面にパターンを形成させたクロム材に対して濡れ性が良く、且つ低泡性であり、しかも優れたエッチング効果を奏するクロムエッチング剤組成物及びこれを用いたエッチング方法の提供。【解決手段】第二セリウム塩、酸、付着張力増強剤及びアルキルスルホン酸化合物を含んで成る組成物及びこれを用いたエッチング方法。

請求項（抜粋）：

第二セリウム塩、酸、付着張力増強剤及びアルキルスルホン酸化合物を含んで成る組成物。

IPC (2件)：

C23F 1/26 ,  C09K 13/06

FI (2件)：

C23F 1/26 ,  C09K 13/06

Fターム (8件)：

4K057WA10 ,  4K057WB08 ,  4K057WE01 ,  4K057WE02 ,  4K057WE03 ,  4K057WE08 ,  4K057WE11 ,  4K057WN01