特許

J-GLOBAL ID：200903024886544423

静電容量型センサ

発明者： 日笠 浩一 ,  大場 正利
出願人/特許権者： オムロン株式会社
代理人 (1件)： 牛久 健司 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-353925
公開番号（公開出願番号）：特開平10-185946
出願日： 1996年12月19日
公開日（公表日）： 1998年07月14日
要約：

【要約】【目的】 外部環境等の影響を受けにくい静電容量型センサ装置を提供する。【構成】 静電容量型加速度センサ装置は,静電容量型加速度センサ素子10とこのセンサ素子10を実装するステム1から構成される。センサ素子10はその一側面(被実装面)のみがステム1の内部の側壁(実装面)に接着樹脂3により接着されている。センサ素子10の側面に底面に比べて面積が小さく,またセンサ素子10の巾(または長さ)は,その厚さよりも一般に長い。さらにセンサ素子10が実装される側面は,可動電極15の振動方向と垂直である。これらにより,センサ素子10は外部環境の変化(たとえば温度変化)によってステム1が変形したとしてもその影響を受けにくく,正確な加速度の検出を行うことができる。

請求項（抜粋）：

外力の変化を対応する静電容量の変化に変換する静電容量型センサ素子とこのセンサ素子を内部に収める凹部をもつ支持部材とを備え,少なくとも凹部内の一面が実装面であり,この実装面に上記センサ素子の被実装面が固定された静電容量型センサにおいて,上記支持部材の実装面が外力の加わる方向と異なる方向を向く面であり,上記センサ素子の被実装面が外力の加わる方向と異なる方向を向く面である,静電容量型センサ。

IPC (3件)：

G01P 15/125 ,  G01L 1/14 ,  H01L 29/84

FI (3件)：

G01P 15/125 ,  G01L 1/14 A ,  H01L 29/84 Z