クリーンルームまたはクリーンブース内の特定領域環境の最適制御解析値表示システム

発明者： ,
出願人/特許権者： ,
代理人 (1件)：大滝均
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-273596
公開番号（公開出願番号）：特開2001-099462
出願日： 1999年09月28日
公開日（公表日）： 2001年04月13日
要約：

【要約】 (修正有)【課題】空調設備機器の再シミュレーションを行うことの出来るクリーンルーム又はクリーンブース内の特定領域環境の最適制御解析値表示システムを提供する。【解決手段】最適制御解析値表示システム1は、ダストカウンタ2と、気流測定装置7と、温度計3、湿度計4、気圧計5、ガスセンサ6等が所定の位置に配置され、測定値モニタリング装置8により、測定結果を記憶、表示し、クリーンルーム又はクリーンブース内に設けられた空調設備の給排気口位置及びその能力、設置数量、消費電力等の空調設備能力及び製造ライン装置の位置、寸法形状、材質及び作業員の人数及び作業位置等の環境構成要因を入力し、この入力値に基づいて計算表示装置9にクリーンルーム又はクリーンブース内の粒子濃度分布、気流、気温をシミュレート表示する。

請求項（抜粋）：

クリーンルームまたはクリーンブース内の所定の位置に配置され、前記クリーンルームの所定空間の浮遊粒子数を計数する一又は二以上のダストカウンタと、前記クリーンルームまたはクリーンブース内の所定位置に配置され、前記クリーンルームまたはクリーンブース内の所定空間の気流の方向およびその速度を測定する一又は二以上の気流測定装置と、前記クリーンルームまたはクリーンブース内の所定位置に配置され、前記クリーンルームまたはクリーンブース内の所定空間の気温を測定する一又は二以上の温度計と、前記測定された所定位置の浮遊粒子数、気流の方向およびその速度、気温の測定結果を記憶、表示する測定値モニタリング装置と、前記クリーンルームまたはクリーンブース内に設けられた空調設備の給排気口位置およびその能力、設置数量、消費電力等の空調設備能力および製造ライン装置の位置、寸法形状、材質および作業員の人数および作業位置等の環境構成要因を入力し、この入力値に基づいた前記クリーンルームまたはクリーンブース内の粒子濃度分布、気流、気温をシミュレート表示する計算表示装置と、からなることを特徴とするクリーンルームまたはクリーンブース内の特定領域環境の最適制御解析値表示システム。

IPC (2件)：

F24F 11/02 , G05B 17/02

FI (2件)：

F24F 11/02 Z , G05B 17/02

Fターム (28件)：

3L060AA03 , 3L060CC02 , 3L060CC07 , 3L060CC09 , 3L060CC10 , 3L060CC13 , 3L060CC14 , 3L060CC19 , 3L060DD06 , 3L060EE01 , 5H004GA34 , 5H004GA36 , 5H004GB20 , 5H004HA01 , 5H004HA04 , 5H004HA16 , 5H004HB01 , 5H004HB03 , 5H004HB04 , 5H004HB08 , 5H004JA23 , 5H004JB08 , 5H004JB09 , 5H004KC27 , 5H004MA40 , 5H004MA48 , 5H004MA49 , 5H004MA60

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