特許
J-GLOBAL ID：200903024894138370
二段検出式非接触位置決め装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
高月 猛
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-203746
公開番号（公開出願番号）：特開平7-043110
出願日： 1993年07月27日
公開日（公表日）： 1995年02月10日
要約：
【要約】【目的】 散乱光の影響を受けずに高精度な位置合わせができる二段検出式非接触位置決め装置を提供する。【構成】 光位置検出機構3が、中央の光軸K4 対応位置にスリット部17を有する第1光位置検出器15と、該スリット部17を通過した測定光束S9 を受光する第2光位置検出器16とを備えたものであり、且つ第2光位置検出器16の測定光束受光時に第1光位置検出器15が非検出状態となるように切換自在とされており、光学機構2の結像レンズ13、14が、第1光位置検出器15及び第2光位置検出器16に各々対応して備えられている。測定光束としては、半導体レーザや、He-Neレーザなどが好適である。
請求項（抜粋）：
測定光束としてレーザを照射するレーザ照射機構と、測定光束を光軸と平行に導くためのミラー手段と、測定光束を屈折して対象物に導き且つ対象物から反射した測定光束を再度屈折する対物レンズと、対象物で反射されて対物レンズにて屈折された測定光束を、光軸上で結像させる結像レンズを有する光学機構と、結像レンズを経た測定光束を受光して位置信号を出力する二分割型の光位置検出機構と、光位置検出機構からの位置信号に応じて少なくとも対象物又は対物レンズのいずれかを移動させることにより、測定光束を対象物の表面へ自動的に焦点位置合わせする焦点位置合わせ機構と、を備えた非接触位置決め装置において、前記光位置検出機構が、中央の光軸対応位置にスリット部を有する第1光位置検出器と、該第1光位置検出器のスリット部を通過した測定光束を受光する第2光位置検出器とを備えたものであり、且つ第2光位置検出器の測定光束受光時に第1光位置検出器が非検出状態となるように切換自在とされており、前記光学機構の結像レンズが、第1光位置検出器及び第2光位置検出器に各々対応して備えられていることを特徴とする二段検出式非接触位置決め装置。
IPC (2件)：
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