特許

J-GLOBAL ID：200903024900218054

多重波長干渉計の多重光ビームを発生する方法および装置

発明者： スタンレイ・キシュナー
出願人/特許権者： ヒューズ・エアクラフト・カンパニー
代理人 (1件)： 鈴江 武彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-258146
公開番号（公開出願番号）：特開平5-210006
出願日： 1992年09月28日
公開日（公表日）： 1993年08月20日
要約：

【要約】【目的】 本発明は、多重波長に対して等しい偏差角を有する多重ビームを効率よく発生する方法および装置を提供することを目的とする。【構成】 ビームスライサ6 の基体上の複数の領域において、入射放射3 を物体10上の再帰反射器9 のような空間の異なる領域に導かれる複数の放射ビーム7 に偏移させるブレーズド回折格子を表面に形成されており、放射ビームの関係する2つ以上の波長は次の式にしたがうことによって予め定められた同じ角度で同時に有効に偏移されることを特徴とする。λ1 /λ2 =m2 /m1 、ここで、λ1 およびλ2 は関係する2つの波長であり、m1 はλ1 の回折オーダであり、m2 はλ2 の回折オーダである。

請求項（抜粋）：

入射放射から空間の異なる領域に導かれる複数の放射ビームを発生する装置において、基体と、入射放射を放射ビームに偏移するブレーズド回折格子を限定する前記基体の表面内に形成された1つ以上の領域とを具備し、放射ビームの関係する2つ以上の波長は次の式にしたがうことによって予め定められた同じ角度で同時に有効に偏移され、λ1 /λ2 =m2 /m1ここで、λ1 およびλ2 は関係する2つの波長であり、m1 はλ1 の回折オーダであり、m2 はλ2 の回折オーダであることを特徴とする装置。

IPC (3件)：

G02B 5/18 ,  H01S 3/18 ,  H04J 14/02

引用特許：

審査官引用 (5件)

• 特公昭58-033534
  
• 特開昭56-004107
  
• 特開昭56-004107
  
• 特公昭58-033534
  
• 特表平4-505050