特許

J-GLOBAL ID：200903024911267545

導波路の製造方法

発明者： 服部 哲也 ,  瀬村 滋
出願人/特許権者： 住友電気工業株式会社
代理人 (1件)： 長谷川 芳樹 (外3名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-195165
公開番号（公開出願番号）：特開平7-027941
出願日： 1993年07月12日
公開日（公表日）： 1995年01月31日
要約：

【要約】【目的】 導波部となる部分のみの屈折率を高め、光閉じ込めの良好な導波路を得るための製造方法を提供する。【構成】 LiNbO3 基板1表面にTi膜2を成膜した後、パターニングされたフォトレジスト3aをマスクとしてこのTi膜2をエッチングあるいはダイシング加工し、成形されたTiパターン2aをマスクとしてLiNbO3 1表面をエッチングあるいはダイシング加工することによりリッジ構造を作り込み、さらにマスクとして残したTiパターン2aを熱拡散させることにより、リッジ構造の導波部1aを有するTi拡散LiNbO3 導波路を製造する。

請求項（抜粋）：

誘電体光学材料からなる基板表面に遷移金属膜を成膜した後、パターニングされたフォトレジストをマスクとして該遷移金属膜を導波路形状にエッチングあるいはダイシング加工する第1の工程と、前記パターニングされた遷移金属膜をマスクとして前記誘電体光学材料表面をエッチングあるいはダイシング加工することにより、該誘電体光学材料の表面に導波部となるリッジ構造部を形成する第2の工程と、前記導波部となるリッジ構造部の上部表面にマスクとして残した遷移金属膜を熱拡散させることにより、該誘電体光学材料の表面に屈折率の高いリッジ構造の導波部を形成する第3の工程を備えた導波路の製造方法。

IPC (2件)：

G02B 6/13 ,  C30B 29/30

引用特許：

審査官引用 (3件)

• 特開昭58-154820
  
• 特開昭58-211106
  
• 特開昭57-090605