特許
J-GLOBAL ID：200903024912359753
X線回折装置の試料位置確認方法及び試料容器並びにX線顕微鏡
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
鈴木 利之
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-278248
公開番号（公開出願番号）：特開平9-101270
出願日： 1995年10月03日
公開日（公表日）： 1997年04月15日
要約：
【要約】【目的】 コリメータと試料の間に配置した箔で発生した2次X線を利用して試料の位置を確認することにより、試料容器の内部の試料を目視できなくても、試料とX線経路との位置関係を確認できる。【構成】 X線源10を出たX線11は、ピンホールコリメータ12で細いビームに絞られて、箔14に入射する。箔14のX線照射領域から発生した2次X線(蛍光X線)20は、試料容器16内の試料18及びその周囲空間を透過してから、2次元X線検出器22に到達し、試料18の外形を拡大画像24として認識できる。このX線顕微鏡をX線回折装置の試料位置確認手段として利用すれば、試料容器の材質として、容器内部を目視できないベリリウムを使うことも可能になる。
請求項（抜粋）：
コリメータを通過させたX線を試料に照射して、この試料からの回折X線を2次元X線検出器で測定するX線回折装置において、前記コリメータと前記試料との間のX線経路に箔を挿入して、前記箔にX線を照射し、前記箔の裏面から出てくる2次X線を前記試料に照射して、前記試料及びその周囲空間を透過した前記2次X線を前記2次元X線検出器で検出することにより、前記試料と前記X線経路との位置関係を確認することを特徴とする試料位置確認方法。
IPC (2件)：
FI (2件)：
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