特許

J-GLOBAL ID：200903024915963228

露光用照明装置

発明者： 菊池 啓記
出願人/特許権者： ソニー株式会社
代理人 (1件)： 小池 晃 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-007849
公開番号（公開出願番号）：特開平9-199394
出願日： 1996年01月19日
公開日（公表日）： 1997年07月31日
要約：

【要約】【課題】 機械的シャッタを用いることなく、露光時の光量を正確に制御することが可能な露光用照明装置を提供する。【解決手段】 本発明の露光用照明装置は、所定の偏光状態とされた紫外光を出射する光源1と、光源1からの光の偏光状態を変化させる偏光制御手段2と、偏光制御手段2からの光の強度を偏光状態に応じて変化させる光強度制御手段である偏光子3とを備えている。そして、光源1からの光の偏光状態を偏光制御手段2によって変化させることにより、偏光子3を透過して出力される光の強度を変化させる。

請求項（抜粋）：

所定の偏光状態とされた紫外領域の光を出射する光源と、上記光源からの光の偏光状態を変化させる偏光制御手段と、上記偏光制御手段からの光の強度を偏光状態に応じて変化させる光強度制御手段と、を備えることを特徴とする露光用照明装置。

IPC (2件)：

H01L 21/027 ,  G03F 7/20 521

FI (4件)：

H01L 21/30 515 B ,  G03F 7/20 521 ,  H01L 21/30 516 D ,  H01L 21/30 527