特許

J-GLOBAL ID：200903024921774070

カラーフィルタの異物検出光学系

発明者： 蓬莱 泉雄 ,  加藤 昇 ,  熊沢 豊 ,  古川 忠宏 ,  別宮 一郎 ,  水元 伸二
出願人/特許権者： 日立電子エンジニアリング株式会社 ,  共同印刷株式会社
代理人 (1件)： 梶山 佶是 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-161952
公開番号（公開出願番号）：特開平5-332944
出願日： 1992年05月28日
公開日（公表日）： 1993年12月17日
要約：

【要約】【目的】 カラーフィルタの異物検査装置の従来の光学系を簡略化する。【構成】 1組の投光系3と受光系4を設け、投光系3の投光角θT と受光系4の受光角θR を、カラーフィルタ1の表面に対して75°〜85°の範囲内の同一角度に設定する。受光系4にハーフミラー41を設け、これにより2分割された表面の反射光の一方が入力し、正反射光LR を除去する第1の空間フィルタ43を有し、これを透過し、正反射光LR に対して軸ズレした軸ズレ反射光LR',LR'' を受光して、埋没異物の形成する山形突起2を検出する第1の受光器44と、2分割された他方が入力し、正反射光LR のみを透過する第2の空間フィルタ45を有し、これを透過した正反射光LR の強度の低下を検出することにより、付着異物を検出する第2の受光器46とを設けて構成される。【効果】 投受光系が1組となり、従来に比較して著しく簡略化される。

請求項（抜粋）：

3原色の画素が配列されたカラーフィルタを対象とし、該カラーフィルタを載置してXまたはY方向に移動し、かつ90°回転する移動回転機構と、該カラーフィルタの表面に白色光束を投射して走査する投光系、および該表面の反射光を受光する受光系を具備し、前記移動回転機構により前記カラーフィルタを回転し、0°および90°の2方向で該受光系により該反射光をそれぞれ受光して、前記画素または該カラーフィルタにコーティングされたトップコートに埋没した埋没異物、または付着した付着異物を検出する異物検査装置において、(1) 1組の前記投光系と受光系を前記表面の垂線に関して対称的に配置し、該投光系の投光角θT と受光系の受光角θR とを、前記カラーフィルタの表面に対して75°〜85°の範囲内の同一角度に設定し、(2) 前記受光系に対して、該受光系に入力した前記表面の反射光を2分割するハーフミラーと、該ハーフミラーにより2分割された反射光の一方が入力し、該表面の正反射光を除去する第1の空間フィルタを有し、該第1の空間フィルタを透過し、前記正反射光に対して軸ズレした軸ズレ反射光を受光して、前記埋没異物の形成する山形突起を検出する第1の受光器、および前記2分割された反射光の他方が入力し、前記正反射光のみを透過する第2の空間フィルタを有し、該第2の空間フィルタを透過した前記正反射光を受光し、該受光信号の強度の低下を検出することにより、前記付着異物を検出する第2の受光器とを設けて構成されたことを特徴とする、カラーフィルタの異物検出光学系。

IPC (4件)：

G01N 21/88 ,  G01B 11/30 ,  G02B 5/20 101 ,  G02F 1/1335 505