特許

J-GLOBAL ID：200903024921957400

エキシマレーザ装置用レーザ光取り出し窓及びそれを用いたエキシマレーザ装置

発明者： 坪井 俊吾 ,  松下 嘉文 ,  皆川 忠郎
出願人/特許権者： 三菱電機株式会社
代理人 (1件)： 曾我 道照 (外6名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-035185
公開番号（公開出願番号）：特開平6-250015
出願日： 1993年02月24日
公開日（公表日）： 1994年09月09日
要約：

【要約】【目的】 本発明の目的は、上述のような活性酸素の発生を抑制することによりエキシマレーザ装置の効率を向上させることができる、波長200nm未満の成分を大気側に透過させない光学特性を有するエキシマレーザ装置用レーザ光取り出し窓及びそれを用いたエキシマレーザ装置を提供することにある。【構成】 本発明に係るエキシマレーザ装置用レーザ光取り出し窓は、母材の少なくとも1表面上に誘電体交互多層膜を備え、200nm未満の波長成分を透過させない光学特性をもつことを特徴とし、本発明に係るエキシマレーザ装置は、該レーザ光取り出し窓を備えてなることを特徴とする。

請求項（抜粋）：

エキシマレーザ装置用レーザ光取り出し窓において、カルシウム、バリウム、マグネシウムなどのフッ化物から選択されたレーザ光取り出し窓の母材の少なくとも1表面上に、248nmにおける屈折率が2.0以上の物質と248nmにおける屈折率1.5以下の物質を交互多層に蒸着した第1の多層群と、第1の多層群の外面上に248nmにおける屈折率が2.0以上の物質と248nmにおける屈折率1.5以下の物質を交互多層に蒸着した第2の多層群とを備えてなり、各層の光学膜厚が0.125〜0.25波長であり、かつ第1の多層群と第2の多層群の設計波長差が10〜50nmの範囲内にある誘電体交互多層膜を有し、200nm未満の波長成分を透過させない光学特性を有することを特徴とするエキシマレーザ装置用レーザ光取り出し窓。

IPC (4件)：

G02B 5/26 ,  G02B 1/10 ,  H01S 3/034 ,  H01S 3/225

FI (2件)：

H01S 3/03 G ,  H01S 3/223 E