特許
J-GLOBAL ID：200903024922993361
リーク検出装置およびリーク検出方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
松本 武彦 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-219235
公開番号（公開出願番号）：特開平8-082568
出願日： 1994年09月13日
公開日（公表日）： 1996年03月26日
要約：
【要約】【目的】 チャンバ内のリーク検出用気体の残留レベルを下げて、リーク検出精度を高める。【構成】 リーク検出装置1は、チャンバ2とガス供給系3とチャンバ排気系4とガス検出器22とエア供給系5とを備えている。チャンバ2内には、トルクコンバータTが内部に配置される。チャンバ排気系4はチャンバ2内を排気する。ガス検出器22は、チャンバ排気系4により排気されたチャンバ2内の気体からヘリウムの有無を検出する。ガス供給系3は1回目のヘリウムをチャンバ2内のトルクコンバータT内部に供給し、その結果ガス検出器22がヘリウムを検出しなかった場合にのみ1回目より多量の2回目のヘリウムをトルクコンバータT内部に供給する。
請求項（抜粋）：
ワークのリークを検出するためのリーク検出装置であって、前記ワークが内部に配置されるチャンバと、前記チャンバ内を排気する排気装置と、前記排気装置により排気された前記チャンバ内の気体からリーク検出用気体の有無を調べるリーク検出用気体検出装置と、1回目のリーク検出用気体を前記チャンバ内の前記ワーク内部に供給し、その結果前記リーク検出用気体検出装置がリーク検出用気体を検出しなかった場合にのみ前記1回目より多量の2回目のリーク検出用気体を前記ワーク内部に供給するリーク検出用気体供給装置と、を備えたリーク検出装置。
IPC (3件)：
G01M 3/00
, G01M 3/20
, G01M 3/32
