特許

J-GLOBAL ID：200903024927084149

加速度計

発明者： スチーブン ベリングハウス ,  レイモンド イー.マンデビル ,  ダブリュ.ドナルド ロルフ ザ サード
出願人/特許権者： テキサス インスツルメンツ インコーポレイテツド
代理人 (1件)： 浅村 皓 (外3名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-134808
公開番号（公開出願番号）：特開平5-164778
出願日： 1992年05月27日
公開日（公表日）： 1993年06月29日
要約：

【要約】【目的】 自動車安全エアバッグ装置などを調整するための改良された落下抵抗性を有するミクロ機械加工されたシリコン加速度計を提供する。【構成】 介在するビーム32によって包囲支持体30に取付けられた中心質量26を有する主部材16をベース12とカバー14の間に位置させる。1対のビーム32が質量26の4側面のおのおのから支持体30に一体的に延びる。質量26の各側面の端の近くから延びるビーム32は加速度計の落下間のビーム32の損傷を防ぐため軸線はずれの加速度の力に応答する質量26の回転または捩り運動に対抗するように互いから広く離間位置される。複数のピエゾ抵抗センサが軸線20に沿う加速度の力に対応する出力信号を生じさせるように質量26の運動間の歪みを感知するべくビームテーパ部分に収容される。ビーム32の損傷をさらに防ぐため、ストップが軸線20に沿う質量26の運動を制限する。

請求項（抜粋）：

シリコン半導体材料から成る主部材であって、中心質量を有し、中心質量に対し包囲関係にある平面に一体化支持体を配置され、中間質量の4個の直線的に配置された側面のおのおのの2個の部分を一体化ビームによって支持体に結合され、そして中心質量の回転運動と第2及び第3の軸線に沿う加速度の力に応答する第1の軸線に対しそして互いに対し垂直の第2及び第3の軸線に沿う中心質量の運動とに対抗すると同時に第1の軸線に沿う加速度の力に応答して支持体の平面に対し垂直の第1の軸線に沿って運動するように中心質量を支持体に弾力的に取付ける支持体から中心質量のすべての他の部分が離されて支持体と結合していないものと;第1の軸線に沿う加速度の力に対応する電気出力信号を提供するため中心質量の運動間ビームにおけるひずみに応答するように選択されたビームの材料内に収容されたピエゾ抵抗センサと;第1の軸線に沿う中心質量の運動を制限するストップとを有することを特徴とする加速度計。