特許

J-GLOBAL ID：200903024930266894

ビ-ムサイズの測定方法及び測定装置

発明者： 小島 義克
出願人/特許権者： 日本電気株式会社
代理人 (1件)： 鈴木 章夫
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-014158
公開番号（公開出願番号）：特開2000-216076
出願日： 1999年01月22日
公開日（公表日）： 2000年08月04日
要約：

【要約】【課題】 電子ビーム等のビームをマークに投射し、その反射ビームを検出して得られる信号波形に基づいてビームサイズを測定する際に、雑音成分の影響を受けない、高精度なビームサイズの測定が可能な測定方法及び測定装置を提供する。【解決手段】 マーク4に対して被測定対象のビームEBを走査する反射電子検出器3と、マー4クで反射されたビームを検出してその信号波形を得る微分増幅器6,A/D変換器7と、予め複数の既知のビームサイズのビームをマーク4に走査し、その反射ビームから得られる信号波形からそれぞれの比較波形を得る反射電子計算器11と、得られた複数の比較波形を記憶する波形記憶器9と、被測定対象ビームの信号波形と記憶されている複数の比較波形の相互相関度を演算する相互相関演算器8と、得られた複数の相互相関度に基づいて相互相関度の最大となるビームサイズを求め、求められたビームサイズを被測定対象ビームのビームサイズと判定するビームサイズ判定器10とを備える。

請求項（抜粋）：

基準体に対して被測定対象のビームを走査し、前記基準体のエッジ部からの反射ビームを検出して当該ビームの信号波形を得る工程と、予め複数の既知のビームサイズのビームを前記基準体に走査し、その反射ビームから得られる複数の比較波形を記憶しておく工程と、前記被測定対象ビームの信号波形と前記複数の比較波形の相互相関度を演算する工程と、得られた複数の相互相関度に基づいて相互相関度の最大となるビームサイズを演算し、当該最大のビームサイズを前記被測定対象ビームのビームサイズと判定する工程とを含むことを特徴とするビームサイズの測定方法。

IPC (3件)：

H01L 21/027 ,  G03F 7/20 504 ,  H01J 37/04

FI (3件)：

H01L 21/30 541 N ,  G03F 7/20 504 ,  H01J 37/04 A

Fターム (11件)：

2H097AA03 ,  2H097CA16 ,  2H097LA10 ,  5C030AA04 ,  5C030AB03 ,  5F056BA05 ,  5F056BB01 ,  5F056BB06 ,  5F056BC02 ,  5F056BC06 ,  5F056BC10