窒化ケイ素系焼結体及びその製造方法

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：和田昭
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-155223
公開番号（公開出願番号）：特開平7-097266
出願日： 1994年06月13日
公開日（公表日）： 1995年04月11日
要約：

【要約】【目的】均一で微細な結晶粒子のみで構成され、中低温域における強度と破壊靭性を同時に向上させた窒化ケイ素系焼結体を提供する。【構成】原料粉末に長軸径が200nm以下の結晶粒から構成される結晶質窒化ケイ素粉末、又は非晶質窒化ケイ素粉末を用い、1200°C〜1400°Cの温度で焼結するか、又は1400°C〜1900°Cの温度で焼結温度(°C)と焼結時間(秒)の積を600000(°C・秒)以下で焼結して、窒化ケイ素及び/又はサイアロン結晶の長軸径が200nm以下である窒化ケイ素系焼結体を得る。

請求項（抜粋）：