特許

J-GLOBAL ID：200903024941308793

三軸加速度センサ

発明者： 小林 英樹 ,  高橋 めぐみ
出願人/特許権者： 北陸電気工業株式会社
代理人 (1件)： 松本 英俊 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-275829
公開番号（公開出願番号）：特開平11-118822
出願日： 1997年10月08日
公開日（公表日）： 1999年04月30日
要約：

【要約】【課題】 重錘の固定位置の誤差による自発分極電荷のピーク値の変動及びバラツキを抑制できる三軸加速度センサを得る。【解決手段】 重錘対向領域5Aを囲む環状の電極列を構成するように検出用電極DX1,DX2,DY1,DY2,DZ1〜DZ4を形成する。圧電セラミックス基板5の重錘対向領域5Aの中心点と各検出用電極DX1...の一対の辺(K3,K4)の中間に位置する中間点とを通って延びる仮想線と、一対の辺(K3,K4)とがそれぞれほぼ平行に延びるように、各検出用電極DX1...を形成する。

請求項（抜粋）：

X軸方向加速度を検出する1以上のX軸方向加速度検出用電極、Y軸方向加速度を検出する1以上のY軸方向加速度検出用電極、Z軸方向加速度を検出する1以上のZ軸方向加速度検出用電極、1以上のX軸方向加速度出力電極、1以上のY軸方向加速度出力電極、1以上のZ軸方向加速度出力電極、前記1以上のX軸方向加速度検出用電極と前記1以上のX軸方向加速度出力電極を接続する第1の配線パターン、前記1以上のY軸方向加速度検出用電極と前記1以上のY軸方向加速度出力電極を接続する第2の配線パターン及び前記1以上のZ軸方向加速度検出用電極と前記1以上のZ軸方向加速度出力電極を接続する第3の配線パターンを含む電極パターンが表面上に形成され、裏面上に少なくとも前記各検出用電極と対向する対向電極パターンが形成され、前記1以上のX軸方向加速度検出用電極、前記1以上のY軸方向加速度検出用電極及び前記1以上のZ軸方向加速度検出用電極と前記対向電極パターンとの間の部分が分極処理されている圧電セラミックス基板と、表面に接着剤層を介して前記圧電セラミックス基板の前記裏面が接合されたダイアフラムと、前記ダイアフラムの裏面側に突出するように前記ダイアフラムに対して固定された円柱状または円筒形の重錘と、前記重錘の変位を許容するように前記ダイアフラムの外周部を支持する台座とを具備し、前記1以上のX軸方向加速度検出用電極、前記1以上のY軸方向加速度検出用電極及び前記1以上のZ軸方向加速度検出用電極が、前記重錘と対向する前記圧電セラミックス基板の円形の重錘対向領域と該重錘対向領域と前記外周部との間に位置する中間領域とに跨がり且つ互いに間隔をあけて前記重錘対向領域を囲む環状の電極列を構成するように形成されている三軸加速度センサであって、前記X軸方向加速度検出用電極、前記Y軸方向加速度検出用電極及び前記Z軸方向加速度検出用電極は、前記環状の電極列が延びる方向に位置する一対の辺が、ほぼ平行になるように形成されていることを特徴とする三軸加速度センサ。