特許
J-GLOBAL ID：200903024941423762
電界放出素子及びその製造方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
上柳 雅誉 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-089834
公開番号（公開出願番号）：特開2003-288835
出願日： 2002年03月27日
公開日（公表日）： 2003年10月10日
要約：
【要約】【課題】 製造コストを減少させ、材料の浪費を防止して環境保護を図ることができる電界放出素子及びその製造方法を提供する。【解決手段】 (a)支持基板101上に、インクジェット方式により、カソード電極102、及び絶縁層103を形成する。(b)絶縁層103上に、インクジェット方式で、カーボンブラックの前駆体201を塗布する。(c)基板を加熱し、カーボンブラックの前駆体201をカーボンブラック層202に変化させる。(d)カーボンナノチューブの前駆体を熱分解し、カーボンブラックが付着していないカソード電極面に、カーボンナノチューブの配列105を成長させ、エミッタとする。(e)カーボンブラック層202の上にインクジェット方式で絶縁膜103を形成する。(f)絶縁膜103上にインクジェット方式でゲート電極104を作成する。
請求項（抜粋）：
下地となる面に垂直に配置されたカーボンナノチューブを備えている電界放出素子であって、有機材料または無機材料のいずれかを含む流動体を、前記下地となる面に付着、固化させて形成したパターンを利用して、領域選択的に配置したカーボンナノチューブの配列を有することを特徴とする電界放出素子。
IPC (2件)：
FI (2件)：
H01J 9/02 B
, H01J 1/30 F
