特許
J-GLOBAL ID：200903024949483241
マルチチャンバ装置
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
筒井 大和
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-056968
公開番号（公開出願番号）：特開平6-267806
出願日： 1993年03月17日
公開日（公表日）： 1994年09月22日
要約：
【要約】【目的】 プロセスチャンバの利用効率の向上、一貫処理工程での単位時間当たりに処理される被処理物の数量の増大、装置稼働率の向上を実現できるマルチチャンバ装置を提供する。【構成】 同一のプロセスAを互いに等価に実行できるように多重に設けられたプロセスチャンバ1,2,3と、プロセスBを実行できるプロセスチャンバ4と、プロセスCを実行できるプロセスチャンバ5と、ウェハの出し入れを実行するロードロックチャンバ6と、ウェハ搬送チャンバ7から構成されている。ウェハ搬送チャンバ7には旋回および伸縮が自在な搬送アーム7aと、図示しないウェハが載置される搬送台7bが設けられており、各チャンバ間におけるウェハの移動動作が行われる。プロセスA〜Cの一貫処理では、プロセスAの実行はプロセスチャンバ1〜3に振り分けて並行して行われる。
請求項（抜粋）：
被処理物に対して各々が独立に所望の処理を施す複数のプロセスチャンバと、複数の前記プロセスチャンバを外部環境から隔絶された密閉空間で相互に接続する接続手段と、複数の前記プロセスチャンバの間における前記被処理物の搬送動作を行う搬送手段とを含むマルチチャンバ装置であって、同種の前記処理を施す機能を有する前記プロセスチャンバを複数個多重に備えたことを特徴とするマルチチャンバ装置。
引用特許：
前のページに戻る
