特許
J-GLOBAL ID：200903024952317263
高周波コイルおよびその製造方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
大塚 康徳 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-232171
公開番号（公開出願番号）：特開平6-084646
出願日： 1992年08月31日
公開日（公表日）： 1994年03月25日
要約：
【要約】【目的】 Qの高い高周波コイルを提供する。【構成】 所定サイズの基板1の一方の面の端部近傍から略中央部へ、薄膜技術によつて、両信号導体4,6を所定の厚さにパターン形成し、両信号導体4,6を略覆うように、所定の厚さの層間絶縁膜3をパターン形成する。続いて、めつきによつて、その両端部近傍が両信号導体4,6の一部へそれぞれ重畳するように、層間絶縁膜3の上へ、コイル導体2を所定の厚さで形成する。さらに、基板1の端部近傍において、両信号導体4,6のそれぞれに重畳するように、電極5を形成する。
請求項（抜粋）：
所定サイズの絶縁基板に形成した高周波コイルであつて、前記絶縁基板の一方の面の端部近傍から略中央部に形成した少なくとも2つの下部導体と、前記下部導体を略覆うように形成した絶縁膜と、その両端部近傍がそれぞれ異なる前記下部導体の一部へ重畳するように前記絶縁膜上へ形成した少なくとも1つのコイル導体と、前記絶縁基板の端部近傍において前記下部導体のそれぞれに重畳するように形成した少なくとも2つの電極とを有することを特徴とする高周波コイル。
IPC (2件)：
引用特許：
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