特許
J-GLOBAL ID：200903024955705183

移動案内装置及びそれを用いた露光装置

発明者：
崎野 茂夫

崎野 茂夫 について


出願人/特許権者：
キヤノン株式会社

キヤノン株式会社 について


代理人 (1件)： 伊東 哲也
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-066531
公開番号（公開出願番号）：特開2002-270673
出願日： 2001年03月09日
公開日（公表日）： 2002年09月20日
要約：
【要約】【課題】 移動体の移動案内を高精度で行うことを可能にする。【解決手段】 互いに直交する方向に案内されて移動し上下に異なる位置に配置されていて、上下方向の拘束をそれぞれ受けているX方向移動体41及びY方向移動体42と、X方向移動体41の移動方向及びY方向移動体42の移動方向に定盤11上で案内されて移動可能なXY移動体3とを有し、移動体3,41,42を内部に収納する真空容器を設け、X方向移動体41及びY方向移動体42を互いに交差する方向に駆動するそれぞれのアクチュエータ511,512,521,522を前記真空容器の外に設置し、移動体3は、移動体41,42の横方向の案内面から力を受けて、互いに直交する2方向に駆動される。
請求項（抜粋）：
互いに交差する方向に案内されて移動し上下に異なる位置に配置されていて、上下方向の拘束をそれぞれ受けている第1の移動体及び第2の移動体と、前記第1の移動体の移動方向及び前記第2の移動体の移動方向に定盤上で案内されて移動可能な第3の移動体とを有する移動案内装置において、前記第1、第2及び第3の移動体を内部に収納する真空容器を設け、前記第1及び第2の移動体を互いに交差する方向に駆動するそれぞれのアクチュエータを前記真空容器の外に設置し、前記第3の移動体は、前記第1及び第2の移動体の横方向の案内面から力を受けて、互いに交差する2方向に駆動されることを特徴とする移動案内装置。
IPC (3件)：
H01L 21/68 ,  G03F 7/22 ,  H01L 21/027
FI (5件)：
H01L 21/68 K ,  G03F 7/22 H ,  H01L 21/30 502 G ,  H01L 21/30 503 A ,  H01L 21/30 541 L
Fターム (14件)：
5F031CA02 ,  5F031CA05 ,  5F031CA07 ,  5F031HA53 ,  5F031LA03 ,  5F031LA08 ,  5F031MA27 ,  5F031NA05 ,  5F031PA06 ,  5F046AA28 ,  5F046CC01 ,  5F046CC02 ,  5F046CC19 ,  5F056EA14
引用特許：
審査官引用 (3件)

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