特許
J-GLOBAL ID：200903024961380245

配線材料およびこれを用いた配線を備えた半導体装置およびその作製方法

発明者：
高山 徹

高山 徹 について

, 
佐藤 恵司

佐藤 恵司 について

, 
山崎 舜平

山崎 舜平 について


出願人/特許権者：
株式会社半導体エネルギー研究所

株式会社半導体エネルギー研究所 について


公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-194104
公開番号（公開出願番号）：特開2002-083812
出願日： 2000年06月28日
公開日（公表日）： 2002年03月22日
要約：
【要約】【課題】 TFT特性の高い半導体装置を実現する。【解決手段】 ターゲットとしては高純度のターゲットを用い、スパッタガスとしてはアルゴン(Ar)の単体ガスを用い、基板温度を300°C以下とし、スパッタ電力を1kW〜9kWとし、スパッタガスの圧力を1.0Pa〜3.0Paとすることにより膜の応力を、-1×1010〜1×1010dyn/cm2とする。こうして、膜中に含まれるナトリウムが0.03ppm以下、好ましくは0.01ppm以下であり、且つ、低い電気抵抗率(40μΩ・cm以下)を有する導電膜をTFTのゲート配線材料やその他の配線材料として用いることにより、TFTを備えた半導体装置の動作性能や信頼性を大幅に向上させることができる。
請求項（抜粋）：
タングステンまたはタングステン化合物を主成分とする配線材料であって、前記配線材料中の不活性元素にアルゴンを90%以上含み、且つ、前記配線材料中におけるナトリウムの含有量は0.3ppm以下であることを特徴とする配線材料。
IPC (10件)：
H01L 21/3205 ,  C23C 14/34 ,  G02F 1/1343 ,  G02F 1/1368 ,  G09F 9/30 330 ,  H01L 21/285 ,  H01L 21/285 301 ,  H01L 29/78 ,  H01L 29/786 ,  H04N 5/66 102
FI (10件)：
C23C 14/34 A ,  G02F 1/1343 ,  G09F 9/30 330 Z ,  H01L 21/285 S ,  H01L 21/285 301 R ,  H04N 5/66 102 A ,  H01L 21/88 M ,  G02F 1/136 500 ,  H01L 29/78 301 G ,  H01L 29/78 617 M
Fターム (191件)：
2H092HA06 ,  2H092HA12 ,  2H092JA24 ,  2H092JA26 ,  2H092JB64 ,  2H092KB04 ,  2H092MA05 ,  2H092MA08 ,  2H092MA25 ,  2H092NA28 ,  2H092PA02 ,  2H092PA06 ,  2H092RA05 ,  2H092RA10 ,  4K029BA02 ,  4K029BA21 ,  4K029BA58 ,  4K029BB02 ,  4K029BC03 ,  4K029BD01 ,  4K029CA05 ,  4K029DC03 ,  4K029DC04 ,  4M104AA01 ,  4M104AA09 ,  4M104BB01 ,  4M104BB02 ,  4M104BB14 ,  4M104BB26 ,  4M104BB27 ,  4M104BB28 ,  4M104BB30 ,  4M104BB31 ,  4M104BB32 ,  4M104BB33 ,  4M104BB39 ,  4M104BB40 ,  4M104CC05 ,  4M104DD16 ,  4M104DD17 ,  4M104DD26 ,  4M104DD40 ,  4M104DD41 ,  4M104DD65 ,  4M104DD79 ,  4M104DD80 ,  4M104EE06 ,  4M104EE12 ,  4M104EE17 ,  4M104EE18 ,  4M104FF06 ,  4M104FF13 ,  4M104FF18 ,  4M104FF22 ,  4M104GG09 ,  4M104GG10 ,  4M104GG19 ,  4M104GG20 ,  4M104HH01 ,  4M104HH02 ,  4M104HH03 ,  4M104HH05 ,  4M104HH08 ,  4M104HH16 ,  4M104HH20 ,  5C058AA09 ,  5C058AB01 ,  5C058BA35 ,  5C094AA21 ,  5C094BA03 ,  5C094BA27 ,  5C094BA43 ,  5C094BA52 ,  5C094DA13 ,  5C094EA00 ,  5C094FB12 ,  5C094HA05 ,  5C094HA08 ,  5C094HA10 ,  5F033GG04 ,  5F033HH04 ,  5F033HH08 ,  5F033HH09 ,  5F033HH11 ,  5F033HH14 ,  5F033HH17 ,  5F033HH18 ,  5F033HH19 ,  5F033HH20 ,  5F033HH21 ,  5F033HH22 ,  5F033HH23 ,  5F033HH26 ,  5F033HH27 ,  5F033HH28 ,  5F033HH29 ,  5F033HH30 ,  5F033HH32 ,  5F033HH33 ,  5F033HH34 ,  5F033HH35 ,  5F033JJ01 ,  5F033JJ09 ,  5F033JJ18 ,  5F033KK01 ,  5F033MM05 ,  5F033MM08 ,  5F033MM11 ,  5F033MM12 ,  5F033PP15 ,  5F033QQ08 ,  5F033QQ09 ,  5F033QQ10 ,  5F033QQ11 ,  5F033QQ19 ,  5F033QQ37 ,  5F033QQ73 ,  5F033QQ82 ,  5F033QQ83 ,  5F033RR04 ,  5F033RR06 ,  5F033RR21 ,  5F033RR22 ,  5F033TT04 ,  5F033VV06 ,  5F033VV10 ,  5F033VV15 ,  5F033WW00 ,  5F033WW01 ,  5F033WW02 ,  5F033XX00 ,  5F033XX05 ,  5F033XX06 ,  5F033XX10 ,  5F033XX13 ,  5F033XX16 ,  5F033XX19 ,  5F033XX28 ,  5F033XX34 ,  5F040DA26 ,  5F040DB03 ,  5F040EB13 ,  5F040EC04 ,  5F040EC07 ,  5F040EC08 ,  5F040EJ03 ,  5F110AA03 ,  5F110AA26 ,  5F110BB02 ,  5F110BB04 ,  5F110CC02 ,  5F110CC08 ,  5F110DD02 ,  5F110DD03 ,  5F110DD13 ,  5F110DD14 ,  5F110DD15 ,  5F110DD17 ,  5F110DD25 ,  5F110EE01 ,  5F110EE02 ,  5F110EE03 ,  5F110EE04 ,  5F110EE05 ,  5F110EE06 ,  5F110EE09 ,  5F110EE14 ,  5F110EE28 ,  5F110EE36 ,  5F110EE44 ,  5F110FF02 ,  5F110FF03 ,  5F110FF04 ,  5F110FF09 ,  5F110FF28 ,  5F110FF30 ,  5F110GG01 ,  5F110GG02 ,  5F110GG12 ,  5F110GG13 ,  5F110GG24 ,  5F110GG25 ,  5F110GG32 ,  5F110GG34 ,  5F110GG43 ,  5F110GG45 ,  5F110GG51 ,  5F110HJ01 ,  5F110HJ04 ,  5F110HJ12 ,  5F110HJ23
引用特許：
審査官引用 (5件)
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