特許

J-GLOBAL ID：200903024962415352

光表面実装用基板およびその製造方法

発明者： 小山 栄二 ,  鳥取 猛志
出願人/特許権者： 日立マクセル株式会社
代理人 (1件)： 梶山 佶是 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-356871
公開番号（公開出願番号）：特開平5-264833
出願日： 1992年12月22日
公開日（公表日）： 1993年10月15日
要約：

【要約】【目的】 基板内に光導波路を有する、量産に適した大面積の光表面実装基板を提供すること。【構成】 少なくとも光素子をその表面に実装するための光導波路を形成した基板において、前記光導波路は前記基板表面に開口する光信号入口部と光信号出口部を有し、この光信号入口部と光信号出口部を連通する、基板表面と概ね平行で水平な光信号伝搬路を基板内に有し、該光信号伝搬部の両端は30〜60°の範囲内の傾斜角度を有する斜面状に形成されており、光信号伝搬部の高さがHである場合、光信号入口部の開口幅は(H-β)であり、光信号出口部の開口幅は(H+α)であり、ここで、(H+α)≧(H-β)の関係を有する。このような基板はネガ型またはポジ型ホトレジストを用いたホトリソグラフィーにより容易に大量に製造することができる。基板を挟んだ両面型実装基板も可能である。

請求項（抜粋）：

少なくとも光素子をその表面に実装するための光導波路を形成した基板において、前記光導波路は前記基板表面に開口する光信号入口部と光信号出口部を有し、この光信号入口部と光信号出口部を連通する、基板表面と概ね平行で水平な光信号伝搬路を基板内に有し、該光信号伝搬部の両端は30〜60°の範囲内の傾斜角度を有する斜面状に形成されており、光信号伝搬部の高さがHである場合、光信号入口部の開口幅は(H-β)であり、光信号出口部の開口幅は(H+α)であり、ここで、(H+α)≧(H-β)の関係を有することを特徴とする光表面実装用基板。

IPC (2件)：

G02B 6/12 ,  H01L 27/15