特許
J-GLOBAL ID:200903024968634269

高調波発生装置

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 泉名 謙治
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平5-062854
公開番号(公開出願番号):特開平6-252491
出願日: 1993年02月26日
公開日(公表日): 1994年09月09日
要約:
【要約】【目的】高調波出力を効率良くかつ安定して発生させることのできる高調波発生装置を提供する。【構成】LD2から出射される基本波6をモノリシック型共振器5に入射させ、その出力光をビームスプリッタ14で基本波6と第2高調波7に分離し、基本波6を光検出器15で電気信号に変換し、この電気信号に基づいてLDの電流を制御するフィードバック制御機構を設ける。
請求項(抜粋):
半導体レーザと、結合光学系と、非線形光学材料を有する共振器と、前記半導体レーザの駆動電源とを備えた高調波発生装置において、前記共振器を透過してくる基本波を検出し、その光量の変化に応じて前記駆動電源に制御信号を送り、前記半導体レーザの電流を変化させるフィードバック制御装置が設けられていることを特徴とする高調波発生装置。
IPC (3件):
H01S 3/109 ,  G02F 1/37 ,  H01S 3/18

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