特許

J-GLOBAL ID：200903024977822744

シリコンの加工方法と半導体装置の製造方法

発明者： 大田 裕之
出願人/特許権者： 富士通株式会社
代理人 (1件)： 高橋 敬四郎 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-229824
公開番号（公開出願番号）：特開2003-045821
出願日： 2001年07月30日
公開日（公表日）： 2003年02月14日
要約：

【要約】【課題】 微細パターン作成に適したシリコンの加工方法を提供する。【解決手段】 シリコンの加工方法は、下地表面上に多結晶シリコン層を形成する工程と、前記多結晶シリコン層上にストライプ状レジストパターンを形成する工程と、前記レジストパターンをエッチングマスクとして前記多結晶シリコン層をエッチングしてストライプ状多結晶シリコン領域を形成すると共に、その側壁に変質層を形成する工程と、前記変質層を除去し、前記ストライプ状多結晶シリコン領域を細線化する工程と、を含む。

請求項（抜粋）：

シリコン領域にプラズマないしイオンを照射してシリコン領域表面に変質層を形成する工程と、前記変質層をエッチングして除去し、変質していないシリコン表面でエッチングを自動停止させる工程と、を含むシリコンの加工方法。

IPC (8件)：

H01L 21/28 301 ,  H01L 21/28 ,  H01L 21/3065 ,  H01L 21/3205 ,  H01L 21/3213 ,  H01L 21/8238 ,  H01L 27/092 ,  H01L 29/78

FI (8件)：

H01L 21/28 301 D ,  H01L 21/28 B ,  H01L 21/28 F ,  H01L 21/302 J ,  H01L 29/78 301 G ,  H01L 21/88 D ,  H01L 21/88 Q ,  H01L 27/08 321 D

Fターム (122件)：

4M104AA01 ,  4M104BB01 ,  4M104BB02 ,  4M104BB04 ,  4M104BB18 ,  4M104BB20 ,  4M104CC01 ,  4M104CC05 ,  4M104DD02 ,  4M104DD04 ,  4M104DD16 ,  4M104DD23 ,  4M104DD37 ,  4M104DD43 ,  4M104DD52 ,  4M104DD53 ,  4M104DD64 ,  4M104DD65 ,  4M104DD72 ,  4M104DD78 ,  4M104DD84 ,  4M104DD91 ,  4M104EE03 ,  4M104EE05 ,  4M104EE16 ,  4M104FF14 ,  4M104FF16 ,  4M104FF22 ,  4M104GG09 ,  4M104HH14 ,  4M104HH16 ,  5F004AA03 ,  5F004BA20 ,  5F004BB13 ,  5F004BB18 ,  5F004BB25 ,  5F004BB28 ,  5F004DA00 ,  5F004DA04 ,  5F004DA26 ,  5F004DB02 ,  5F004EB04 ,  5F004FA02 ,  5F033HH04 ,  5F033HH09 ,  5F033HH11 ,  5F033HH19 ,  5F033HH25 ,  5F033JJ01 ,  5F033JJ09 ,  5F033JJ11 ,  5F033JJ19 ,  5F033KK03 ,  5F033KK25 ,  5F033MM07 ,  5F033NN06 ,  5F033NN07 ,  5F033PP15 ,  5F033PP27 ,  5F033PP28 ,  5F033QQ12 ,  5F033QQ15 ,  5F033QQ19 ,  5F033QQ20 ,  5F033QQ21 ,  5F033QQ23 ,  5F033QQ33 ,  5F033QQ35 ,  5F033QQ37 ,  5F033QQ48 ,  5F033QQ58 ,  5F033QQ65 ,  5F033QQ73 ,  5F033QQ94 ,  5F033RR04 ,  5F033RR09 ,  5F033SS11 ,  5F033SS27 ,  5F033TT08 ,  5F033VV06 ,  5F033XX03 ,  5F033XX10 ,  5F048AA00 ,  5F048AC03 ,  5F048BA01 ,  5F048BB06 ,  5F048BB07 ,  5F048BB08 ,  5F048BB12 ,  5F048BC06 ,  5F048BD04 ,  5F048BE04 ,  5F048BF01 ,  5F048BF02 ,  5F048BF06 ,  5F048BG14 ,  5F048DA25 ,  5F140AA39 ,  5F140BA01 ,  5F140BC07 ,  5F140BE07 ,  5F140BF04 ,  5F140BF11 ,  5F140BF18 ,  5F140BG12 ,  5F140BG28 ,  5F140BG30 ,  5F140BG32 ,  5F140BG34 ,  5F140BG36 ,  5F140BG38 ,  5F140BG39 ,  5F140BG48 ,  5F140BG52 ,  5F140BG54 ,  5F140BH15 ,  5F140CB01 ,  5F140CB04 ,  5F140CC01 ,  5F140CC03 ,  5F140CC16 ,  5F140CC20