特許

J-GLOBAL ID：200903024985578569

固定砥粒ワイヤソーのワイヤクリーニング装置

発明者： 田子 一弘 ,  塚田 修一
出願人/特許権者： 株式会社東京精密
代理人 (1件)： 松浦 憲三
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-234005
公開番号（公開出願番号）：特開平11-070456
出願日： 1997年08月29日
公開日（公表日）： 1999年03月16日
要約：

【要約】【課題】固定砥粒付ワイヤの目詰まりを防止することができる固定砥粒ワイヤソーのワイヤクリーニング装置の提供。【解決手段】インゴット30を切断するワイヤ列20に向けて洗浄液噴射ノズル46A、46Bから高圧洗浄液を噴射する。これにより、ワイヤ列20を構成する固定砥粒付ワイヤ12の表面に堆積したスラッジ等が高圧洗浄液によって吹き飛ばされ、目詰まりが防止される。

請求項（抜粋）：

表面に砥粒が固着された固定砥粒付ワイヤを複数個のグルーブローラに巻き掛けてワイヤ列を形成し、該ワイヤ列を走行させながら被加工物を押し当てることにより、該被加工物を多数のウェーハに切断する固定砥粒ワイヤソーにおいて、前記被加工物を切断するワイヤ列の近傍に、該ワイヤ列に向けて高圧流体を噴射する噴射手段を設けたことを特徴とする固定砥粒ワイヤソーのワイヤクリーニング装置。

IPC (3件)：

B24B 27/06 ,  B28D 5/04 ,  B28D 7/02

FI (3件)：

B24B 27/06 D ,  B28D 5/04 C ,  B28D 7/02