特許
J-GLOBAL ID：200903024988158188
パターン製造システム
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (2件)：
柳田 征史
, 佐久間 剛
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-369878
公開番号（公開出願番号）：特開2005-136121
出願日： 2003年10月30日
公開日（公表日）： 2005年05月26日
要約：
【課題】不具合箇所を製造前の早い段階で検出して、受注から納品までの時間を短縮することが可能なパターン製造システムを提供する。【解決手段】所定のパターンを加工するための加工用パターンデータを受信して、露光装置21により基板上の銅箔の上に塗布されたレジストに直接描画して露光し、露光されたレジストを現像してレジストパターンを形成し、このレジストパターンが形成された基板上の銅箔をエッチングして所定のパターンを製造する製造手段20を備えたパターン製造システムにおいて、加工用パターンデータをラスター化すると共にラスター化した加工用ラスターパターンデータ130に基づいてパターンを表示し、表示手段14に表示されたパターンに基づき加工用パターンデータを承認する承認指示を入力し、表示手段14に前記パターンが表示された後、承認指示が入力されたとき、加工用ラスターパターンデータ130を製造手段20に送信する。【選択図】図3
請求項（抜粋）：
所定のパターンを加工するための加工用パターンデータを受信して、該加工用パターンデータに基づき露光装置により基板上の銅箔の上に塗布されたレジストに直接描画して露光し、該露光されたレジストを現像してレジストパターンを形成し、該レジストパターンが形成された基板上の銅箔をエッチングして前記所定のパターンを製造する製造手段を備えたパターン製造システムにおいて、
前記加工用パターンデータをラスター化して加工用ラスターパターンデータを作成するラスター化手段を有し、該ラスター化手段により作成された前記加工用ラスターパターンデータに基づいてパターンを表示する表示手段と、
該表示手段に表示された前記パターンに基づき前記加工用パターンデータを承認する承認指示を入力可能な承認指示入力手段と、
前記表示手段に前記パターンが表示された後、前記承認指示入力手段により承認指示が入力されたとき、前記加工用ラスターパターンデータを前記製造手段に送信する送信手段とを備えたことを特徴とする製造システム。
IPC (3件)：
H05K3/06
, G03F7/20
, H05K3/00
H05K3/06 E
, G03F7/20 501
, H05K3/00 H
2H097AA03
, 2H097BA10
, 2H097LA09
, 5E339BC02
, 5E339BD11
, 5E339BE13
, 5E339CC01
, 5E339CD01
, 5E339CF06
, 5E339CF16
, 5E339CF17
, 5E339DD03
, 5E339EE03
, 5E339GG10
