特許

J-GLOBAL ID：200903025006741140

ワイヤソー用スラリー

発明者： 又川 敏 ,  中島 亮 ,  中嶋 貴久 ,  高石 和成
出願人/特許権者： 株式会社SUMCO
代理人 (1件)： 安倍 逸郎
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2009-038233
公開番号（公開出願番号）：特開2009-220269
出願日： 2009年02月20日
公開日（公表日）： 2009年10月01日
要約：

【課題】銅汚染を防止したワイヤソー用スラリーを提供する。【解決手段】分散媒として金属被膜形成物質またはキレート剤を0.01〜1wt%含むスラリーをワイヤソー用スラリーとして用いる。金属被膜形成物質やキレート剤がワイヤのブラストメッキから侵出した銅を捕獲し、銅のウェーハバルクへの侵入を防止する。被膜形成物質はリン酸塩を含むもの、キレート剤はエチレンジアミン四酢酸やエチレントリアミン五酢酸を含むものでもよい。分散媒はグリコール系や鉱物油系でもよい。【選択図】なし

請求項（抜粋）：

分散媒と、この分散媒中に分散された遊離砥粒とからなるワイヤソー用スラリーにおいて、 上記分散媒中に、分散媒中の銅に対して金属被膜を形成する被膜形成物質またはキレート剤を備えたワイヤソー用スラリー。

IPC (5件)：

B24B 37/00 ,  B24B 27/06 ,  B28D 5/04 ,  H01L 21/304 ,  C09K 3/14

FI (6件)：

B24B37/00 H ,  B24B27/06 D ,  B28D5/04 C ,  H01L21/304 611W ,  C09K3/14 550C ,  C09K3/14 550Z

Fターム (12件)：

3C058AA07 ,  3C058CA05 ,  3C058CB06 ,  3C058CB10 ,  3C058DA02 ,  3C058DA03 ,  3C058DA12 ,  3C069AA01 ,  3C069BA06 ,  3C069CA04 ,  3C069DA06 ,  3C069EA05