特許
J-GLOBAL ID：200903025016054834
種結晶を用いたドープ剤の添加方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
舘野 公一
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-290510
公開番号（公開出願番号）：特開平5-201790
出願日： 1991年10月09日
公開日（公表日）： 1993年08月10日
要約：
【要約】【目的】 有転位化の原因となる融液のはねやドープ剤のはねを起こさず、装置の改造と、それに伴うコスト増加をさせず、製作も容易で大量のドープ剤投入にも対応できるドープ剤の添加方法を提供する。【構成】 種結晶の先端にドープ剤を収容したシリコンの容器を取り付け、シリコン融液に先端を浸け、ドープ剤を収容したシリコンの容器を溶融させることによりドープ剤を融液中に添加する。
請求項（抜粋）：
種結晶の先端にドープ剤を収容したシリコンの容器を取り付け、シリコン融液に先端を浸け、ドープ剤を収容したシリコンの容器を溶融させることによりドープ剤を融液中に添加することを特徴とするドープ剤の添加方法。
IPC (3件)：
C30B 15/04
, C30B 29/06 502
, H01L 21/208
