特許
J-GLOBAL ID：200903025023049587
角速度センサ
発明者：
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-014805
公開番号（公開出願番号）：特開平8-201064
出願日： 1995年01月31日
公開日（公表日）： 1996年08月09日
要約：
【要約】【目的】 小型で、且つ組立・接続工程が非常に簡単で、周囲の温度の変化によって特性が変動しにくい角速度センサを提供する。【構成】 駆動側振動部1A、検出側振動部1Bの振動枝3、4、6、7との延出方向に、その駆動入力電極51、52、検出出力電極81、82を被着した中間保持枝5、8を設け、この中間保持枝5、8に弾性ピン54、55、84、85を介して基板11の上部に吊設する。
請求項（抜粋）：
結合基部の対向しあう一方端面に、振動駆動電極が形成された2本の振動枝と両主面に駆動入力電極が形成された1本の中間保持枝とから成る駆動側振動部を、他方端面に、振動検出電極が形成された2本の振動枝と両主面に検出出力電極が形成された1本の中間保持枝とから成る検出側振動部を一体的に形成した圧電振動体と、所定配線導体を有する基板とから成り、前記圧電振動体の2本の中間保持枝に接合する弾性ピンによって、前記圧電振動体を基板の上部に吊設したことを特徴とする角速度センサ。
IPC (2件)：
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