特許

J-GLOBAL ID：200903025023706588

洗浄装置及び洗浄方法

発明者： 難波 和善
出願人/特許権者： 東京エレクトロン株式会社
代理人 (1件)： 井上 俊夫 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-250479
公開番号（公開出願番号）：特開2000-061408
出願日： 1998年08月20日
公開日（公表日）： 2000年02月29日
要約：

【要約】【課題】 半導体ウエハなどの基板を回転させながら、超音波を発振した洗浄液を基板に供給して洗浄するにあたって安定した洗浄を行うこと【解決手段】 基板20の洗浄を行う容器23の外に音圧検出部6を設け、基板を洗浄する前に洗浄液ノズル3から超音波が印加された洗浄液を音圧検出部6に供給し、超音波の音圧を検出する。そしてここで検出された音圧に基づいて発振器制御部71にて発振器4の出力を調整し、調整された出力を振動子4に与えて超音波を洗浄液に印加すると共にその洗浄液をノズル3から基板20に供給して基板を洗浄する。

請求項（抜粋）：

基板を保持して板面に沿って回転させる基板保持部と、この基板保持部に保持された基板に洗浄液を供給して基板を洗浄する洗浄液供給部と、この洗浄液供給部から供給される洗浄液に超音波を印加する振動子と、この振動子に電力を供給する発振器と、前記基板を洗浄する前に、前記洗浄液供給部から洗浄液が供給され、その洗浄液に印加された超音波の音圧を検出する音圧検出部と、この音圧検出部の検出値に基づいて前記発振器の出力値を設定するための発振器制御部と、を備え、前記基板の洗浄時に、前記発振器制御部にて設定された出力値に基づいて前記発振器を動作させることを特徴とする洗浄装置。

IPC (5件)：

B08B 3/02 ,  B08B 3/12 ,  H01L 21/304 643 ,  H01L 21/304 ,  H01L 21/304 648

FI (5件)：

B08B 3/02 B ,  B08B 3/12 Z ,  H01L 21/304 643 A ,  H01L 21/304 643 D ,  H01L 21/304 648 G

Fターム (12件)：

3B201AA03 ,  3B201AB08 ,  3B201AB34 ,  3B201AB42 ,  3B201BB22 ,  3B201BB44 ,  3B201BB52 ,  3B201BB85 ,  3B201BB94 ,  3B201CC13 ,  3B201CD42 ,  3B201CD43