特許
J-GLOBAL ID：200903025025020306
クリーンルームの局所空調システム
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
篠部 正治
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-145483
公開番号（公開出願番号）：特開平11-337115
出願日： 1998年05月27日
公開日（公表日）： 1999年12月10日
要約：
【要約】【課題】クリーンルームにおける生産ラインのレイアウト変更,増設などに対して、簡単,かつ短期の配管工事でフレキシブルに対応できるようにクリーンルームの局所空調システムの冷水配管系統を改良する。【解決手段】クリーンルーム2に分散してレイアウトした高精度温度制御を必要とする恒温ゾーン5に対し、各恒温ゾーンごとにそのファンフィルタユニット10に水冷式冷却コイル10aを組み込み、該冷却コイルに外部から冷水を循環送流して前記領域内の温度を高精度に制御するようにした局所空調システムにおいて、外部の冷水主管13に接続した1次冷水ヘッダ14と、クリーンルームの天井内,ないしはフリーアクセスフロアの床下に分散配備した2次冷水ヘッダ16と、1次冷水ヘッダ/2次冷水ヘッダ,および2次冷水ヘッダ/冷却コイルの間に配管した可撓性チューブ15,17とで冷水配管系統を構築し、かつ前記2次冷水ヘッダをレイアウト変更に対応して移動可能に設置する。
請求項（抜粋）：
クリーンルームの室内に分散してレイアウトした高精度温度制御を必要とする恒温ゾーンに対する局所空調システムであり、各恒温ゾーンごとにそのゾーンに清浄空気を送流するファンフィルタユニットに水冷式冷却コイルを組み込み、該冷却コイルに外部から冷水を循環送流して前記領域内の温度を高精度に制御するようにしたものにおいて、外部の冷水主管に接続した1次冷水ヘッダと、クリーンルームの天井内,ないしはフリーアクセスフロアの床下に分散配備して前記冷却コイルに接続する2次冷水ヘッダと、1次冷水ヘッダと2次冷水ヘッダの間に配管した可撓性の導水チューブとで冷水配管系統を構築し、かつ前記2次冷水ヘッダを恒温ゾーンのレイアウト変更に対応して移動可能に設置したことを特徴とするクリーンルームの局所空調システム。
IPC (2件)：
FI (2件)：
引用特許：
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