特許
J-GLOBAL ID:200903025027895857

圧電アクチュエータ

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 大田 優
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平4-078857
公開番号(公開出願番号):特開平5-252766
出願日: 1992年02月28日
公開日(公表日): 1993年09月28日
要約:
【要約】 (修正有)【目的】 低電圧駆動とリニア駆動が可能で、運動方向の切り換え可能な圧電アクチュエータを得る。【構成】 圧電セラミック板10の表裏面に3分割され、対向して配置された縦振動用の電極11とそれを挟む屈曲振動用の電極12,13を形成し、この電極に位相差を持たせて交流電圧を印加する。圧電セラミック板10に生じる縦振動と屈曲振動の合成による楕円運動が圧電セラミック板の端面に生じ、これに物体を当接させて相対的な位置を変えることができる。
請求項(抜粋):
長方形の圧電セラミック板の表裏面の中央部に対向する二つの第一の電極を具え、それぞれの面にそれらの第一の電極の両側に配置された第二の電極を具え、それぞれの電極は駆動電源に接続され、第一の電極に印加する電圧により生じる縦振動と、第二の電極に印加する電圧により生じる屈曲振動により、圧電セラミック板の端面に生じる楕円運動を利用し、その端面に当接する物体との相対的な位置を移動させることを特徴とする圧電アクチュエータ。

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