特許

J-GLOBAL ID：200903025042991803

変位測定装置

発明者： 松丸 憲司 ,  武田 信明 ,  田沼 敦郎
出願人/特許権者： アンリツ株式会社
代理人 (1件)： 西村 教光
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-348548
公開番号（公開出願番号）：特開平6-201326
出願日： 1992年12月28日
公開日（公表日）： 1994年07月19日
要約：

【要約】【目的】 異なる方向に延びる変位測定箇所を有する測定対象の変位を正確かつ簡単な構成で測定することができること。また、変位測定箇所が傾いているものについても同様に測定を可能とすること。【構成】 投光部3の光は90度異なる4方に延出されたリード31aを有するIC31の各リード31aに照射される。散乱光は、この投光部3を中心としてリード31aの延出方向に対し45度の角度位置に設けられた位置検出素子6a,6bで検出される。IC31の一辺のリード31aを測定後にこれと直交する他辺のリード31aを測定する際にも、投光部3と位置検出素子6a,6bの投受光の関係が同一であり、投光部3,位置検出素子6a,6bを90度回転させずともX-Y方向に移動させるのみでIC314辺から延出される全てのリード31aの変位量を測定できる。

請求項（抜粋）：

平行でない複数のエッジを有する測定対象(31a)に測定用の投光ビームを照射する投光部(3)と、測定対象の各々のエッジに対しエッジ上を除く点対象の位置に配置された受光レンズと位置検出素子とで構成される複数対の受光部(4a,4b),(4a〜4d)と、該位置検出素子の出力を演算し、前記測定対象の変位量を出力する演算手段(7),(17)とを具備することを特徴とする変位測定装置。

引用特許：

審査官引用 (3件)

• 特開平4-052506
  
• 特開平4-259233
  
• 特開平4-259233