特許

J-GLOBAL ID：200903025043593305

マイクロレンズアレイの作製方法

発明者： 竹山 尚幹 ,  日城 良樹 ,  山本 茂樹
出願人/特許権者： 住友化学工業株式会社
代理人 (1件)： 久保山 隆 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-285829
公開番号（公開出願番号）：特開平6-138306
出願日： 1992年10月23日
公開日（公表日）： 1994年05月20日
要約：

【要約】【目的】 固体撮像素子の上に容易に且つ高精度に、耐熱性及び耐溶剤性等の性能に優れたマイクロレンズを形成する、マイクロレンズアレイの作製方法を提供する。【構成】 固体撮像素子の上にポジ型フォトレジストパターンを形成した後、全面露光により透明化し、次いで熱フローによりレンズを形成させるマイクロレンズアレイの作製方法であって、熱フローによりレンズを成形し、次いで、シランカップリング剤で処理後、レンズを硬化させることを特徴とするマイクロレンズアレイの作製方法。

請求項（抜粋）：

固体撮像素子上にポジ型フォトレジストパターンを形成した後、全面露光により透明化し、次いで熱フローによりレンズを形成させるマイクロレンズアレイの作製方法であって、熱フローによりレンズを成形し、次いで、シランカップリング剤で処理後、レンズを硬化させることを特徴とするマイクロレンズアレイの作製方法。