特許
J-GLOBAL ID:200903025050429480
圧電型加速度センサ
発明者:
,
出願人/特許権者:
代理人 (1件):
後藤 洋介 (外3名)
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平7-000477
公開番号(公開出願番号):特開平8-189936
出願日: 1995年01月06日
公開日(公表日): 1996年07月23日
要約:
【要約】【目的】 耐衝撃性に優れるとともに検出周波数が広く,低価格で,かつ,高感度な圧電型加速度センサを提供すること。【構成】 圧電セラミック層と電極層が交互に積層された焼結体からなる圧電セラミック板の両端を固定した加速度センサにおいて,圧電セラミック矩形板10の自由振動部の長さ方向に対する中央部を除いた部分に対向する内部電極対3a〜d,及び4a,4bを設けた。
請求項(抜粋):
圧電セラミック層と電極層が交互に積層された焼結体からなる圧電セラミック板の両端を固定した加速度センサにおいて,前記圧電セラミック板の自由振動部の長さ方向に対する中央部を除いた部分に互いに対向する複数の内部電極を設けたことを特徴とする圧電型加速度センサ。
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